TY - RPRT TI - Ion-Assisted Nanoscale Material Engineering in Atomic Layers AU - Taghinejad, Hossein AU - Taghinejad, Mohammad AU - Abdollahramezani, Sajjad AU - Li, Qitong AU - Woods, Eric V AU - Tian, Mengkun AU - Eftekhar, Ali A AU - Lyu, Yuanqi AU - Zhang, Xiang AU - Ajayan, Pulickel M AU - Cai, Wenshan AU - Brongersma, Mark L AU - Analytis, James G AU - Adibi, Ali PY - 2025 DO - 10.1021/acs.nanolett.5c02040 UR - https://www.osti.gov/biblio/2573994 ID - 2573994 ER -