TY  - RPRT
TI  - Enhanced superconducting qubit performance through ammonium fluoride etch
AU  - Kopas, Cameron J.
AU  - Goronzy, Dominic P.
AU  - Pham, Thang
AU  - Castanedo, Carlos Torres
AU  - Cheng, Matthew
AU  - Cochrane, Rory
AU  - Nast, Patrick
AU  - Lachman, Ella
AU  - Zhelev, Nikolay Z.
AU  - Vallieres, Andre
AU  - Murthy, Akshay A.
AU  - Oh, Jin-su
AU  - Zhou, Lin
AU  - Kramer, Matthew J.
AU  - Cansizoglu, Hilal
AU  - Bedzyk, Michael J.
AU  - Dravid, Vinayak P.
AU  - Romanenko, Alexander
AU  - Grassellino, Anna
AU  - Mutus, Josh Y.
AU  - Hersam, Mark C.
AU  - Yadavalli, Kameshwar
PY  - 2024
DO  - 10.1088/2633-4356/ad88cc
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2466226
ID  - 2466226
ER  -