TY  - RPRT
TI  - A support vector machine framework for fault detection in molecular pump
AU  - Yuan, X. L.
AU  - Kai, J.
AU  - Chen, Y.
AU  - Zuo, G. Z.
AU  - Zhuang, H. D.
AU  - Li, J. H.
AU  - Hu, J. S.
PY  - 2022
DO  - 10.1080/00223131.2022.2080124
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2420545
ID  - 2420545
ER  -