TY  - RPRT
TI  - A transient site balance model for atomic layer etching
AU  - Vella, Joseph R.
AU  - Hao, Qinzhen
AU  - Elgarhy, Mahmoud I.
AU  - Donnelly, Vincent M.
AU  - Graves, David B.
PY  - 2024
DO  - 10.1088/1361-6595/ad5d12
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2406001
ID  - 2406001
ER  -