TY - RPRT TI - 1 kV Self-Aligned Vertical GaN Superjunction Diode AU - Ma, Yunwei AU - Porter, Matthew AU - Qin, Yuan AU - Spencer, Joseph AU - Du, Zhonghao AU - Xiao, Ming AU - Wang, Yifan AU - Kravchenko, Ivan AU - Briggs, Dayrl P. AU - Hensley, Dale K. AU - Udrea, Florin AU - Tadjer, Marko AU - Wang, Han AU - Zhang, Yuhao PY - 2023 DO - 10.1109/led.2023.3332855 UR - https://www.osti.gov/biblio/2278907 ID - 2278907 ER -