TY  - RPRT
TI  - Atomic Precision Patterning and Alignment for Dopant-based Quantum Devices.
AU  - Owen, J. H. G
AU  - Fuchs, E
AU  - Santini, R.
AU  - Randall, J. N
AU  - Mendez Granado, Juan
AU  - Gao, Xujiao
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2022
DO  - 10.2172/2003173
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2003173
ID  - 2003173
ER  -