TY  - RPRT
TI  - Area-Selective Atomic Layer Deposition Templated by Atomic Precision Fabrication.
AU  - Frederick, Esther
AU  - Campbell, Quinn
AU  - Dwyer, Kevin
AU  - Robertson, Luke
AU  - Dryer, Michael
AU  - Schmucker, Scott
AU  - Wheeler, David
AU  - Misra, Shashank
AU  - Butera, Robert
PY  - 2022
DO  - 10.2172/2002069
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2002069
ID  - 2002069
ER  -