TY  - RPRT
TI  - Simple coplanar waveguide resonator mask targeting metal-substrate interface
AU  - Kopas, Cameron J.
AU  - Lachman, Ella
AU  - McRae, Corey H.
AU  - Mohan, Yuvraj
AU  - Mutus, Josh Y.
AU  - Nersisyan, Ani
AU  - Poudel, Amrit
PY  - 2022
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1983793
ID  - 1983793
ER  -