TY - RPRT TI - Fine Pitch Bonding for High Density Interconnects AU - Hirabayashi, Mieko AU - Jordan, Matthew AU - Hollowell, Andrew AU - Herrera, Sergio AU - Wiwi, Michael AU - Gutierrez, Jordan AU - Arterburn, Shawn PY - 2022 DO - 10.2172/1893991 UR - https://www.osti.gov/biblio/1893991 ID - 1893991 ER -