TY  - RPRT
TI  - Picometer sensitivity metrology for EUV absorber phase
AU  - Sherwin, Stuart
AU  - Cordova, Isvar
AU  - Miyakawa, Ryan
AU  - Benk, Markus
AU  - Waller, Laura
AU  - Neureuther, Andrew
AU  - Naulleau, Patrick
PY  - 2021
DO  - 10.1117/1.jmm.20.3.031011
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1837643
ID  - 1837643
ER  -