TY  - RPRT
TI  - Low-Temperature Processing for Atomically Precise Dopant Incorporation with CMOS Integration.
AU  - Schmucker, Scott William
AU  - Anderson, Evan Michael
AU  - Frederick, Esther
AU  - Ivie, Jeffrey Andrew
AU  - Bussmann, Ezra
AU  - Campbell, DeAnna Marie
AU  - Tracy, Lisa A
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Lu, Ping
AU  - Wang, George T.
AU  - Ward, Daniel
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2020
DO  - 10.2172/1830910
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1830910
ID  - 1830910
ER  -