TY  - RPRT
TI  - Atomic-precision advanced manufacturing for Si quantum computing
AU  - Bussmann, Ezra (ORCID:0000000252852825)
AU  - Butera, Robert E.
AU  - Owen, James H. G.
AU  - Randall, John N.
AU  - Rinaldi, Steven M.
AU  - Baczewski, Andrew D.
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2021
DO  - 10.1557/s43577-021-00139-8
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1813068
ID  - 1813068
ER  -