TY  - RPRT
TI  - Fluoridation of HfO[subscript 2]
AU  - Flynn, Steven
AU  - Zhang, Chi
AU  - Griffith, Kent J.
AU  - Shen, Jiahong
AU  - Wolverton, Christopher
AU  - Dravid, Vinayak P.
AU  - Poeppelmeier, Kenneth R.
PY  - 2021
DO  - 10.1021/acs.inorgchem.0c03254
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1786013
ID  - 1786013
ER  -