TY  - RPRT
TI  - Highly efficient ultra-low blaze angle multilayer grating
AU  - Voronov, D. L.
AU  - Park, S.
AU  - Gullikson, E. M.
AU  - Salmassi, F.
AU  - Padmore, H. A.
PY  - 2021
DO  - 10.1364/oe.424536
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1782983
ID  - 1782983
ER  -