TY  - RPRT
TI  - Phase estimation algorithm for the multibeam optical metrology
AU  - Zemlyanov, V. V.
AU  - Kirsanov, N. S.
AU  - Perelshtein, M. R.
AU  - Lykov, D. I.
AU  - Misochko, O. V.
AU  - Lebedev, M. V.
AU  - Vinokur, V. M.
AU  - Lesovik, G. B.
PY  - 2020
DO  - 10.1038/s41598-020-65466-3
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1637468
ID  - 1637468
ER  -