TY - RPRT TI - Scalable submicrometer additive manufacturing AU - Saha, Sourabh K. (ORCID:0000000236808074) AU - Wang, Dien (ORCID:0000000201180379) AU - Nguyen, Vu H. (ORCID:0000000240417471) AU - Chang, Yina (ORCID:0000000199328628) AU - Oakdale, James S. AU - Chen, Shih-Chi (ORCID:0000000249358412) PY - 2019 DO - 10.1126/science.aax8760 UR - https://www.osti.gov/biblio/1569311 ID - 1569311 ER -