TY  - RPRT
TI  - Method for atomic layer deposition
AU  - Jiang, Ying-Bing
AU  - Cecchi, Joseph L.
AU  - Fu, Yaqin
AU  - Brinker, C. Jeffrey
PY  - 2017
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1531980
ID  - 1531980
ER  -