TY  - RPRT
TI  - Carbon MEMS accelerometer.
AU  - Washburn, Cody M.
AU  - Hance, Bradley G.
AU  - Rohwer, Tedd A.
AU  - McBrayer, John D.
AU  - Wheeler, David Roger
AU  - Williams, Randy J.
AU  - Greth, Karl Douglas
AU  - Strong, Jennifer
AU  - Finnegan, Patrick Sean
PY  - 2011
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1109435
ID  - 1109435
ER  -