TY  - RPRT
TI  - Boron diffusion in silicon devices
AU  - Rohatgi, Ajeet
AU  - Kim, Dong Seop
AU  - Nakayashiki, Kenta
AU  - Rounsaville, Brian
PY  - 2010
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1014672
ID  - 1014672
ER  -