TY  - RPRT
TI  - Silicon Micromachining for Terahertz Component Development
AU  - Chattopadhyay, Goutam
AU  - Reck, Theodore J.
AU  - Jung-Kubiak, Cecile
AU  - Siles, Jose V.
AU  - Lee, Choonsup
AU  - Lin, Robert
AU  - Mehdi, Imran
PY  - 2013
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20150008048
ID  - 20150008048
ER  -