TY  - RPRT
TI  - Small modulation ellipsometry
AU  - Ducharme, Stephen P.
AU  - El Hajj, Hassanayn M.
AU  - Johs, Blaine D.
AU  - Woollam, John A.
PY  - 1995
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20080004777
ID  - 20080004777
ER  -