TY  - RPRT
TI  - MSTAR: a sub-micron absolute metrology system
AU  - Lay, O.
AU  - Dubovitsky, S.
AU  - Peters, R.
AU  - Burger, J.
AU  - Ahn, S. W.
AU  - Steier, W.
AU  - Fetterman, H.
PY  - 2002
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20060040282
ID  - 20060040282
ER  -