TY  - RPRT
TI  - Precision actuation of micro-space structures
AU  - Lih, S. S.
AU  - Hickey, G.
AU  - Wang, D. W.
AU  - Tzou, H. S.
PY  - 2000
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20060033310
ID  - 20060033310
ER  -