TY  - RPRT
TI  - Simulation of Etching Profiles Using Level Sets
AU  - Hwang, Helen
AU  - Govindan, T. R.
AU  - Meyyappan, M.
AU  - Arnold, James O.
PY  - 1998
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/20020061378
ID  - 20020061378
ER  -