TY  - RPRT
TI  - Micromachined, Electrostatically Deformable Reflectors
AU  - Bartman, Randall K.
AU  - Wang, Paul K. C.
AU  - Miller, Linda M.
AU  - Kenny, Thomas W.
AU  - Kaiser, William J.
AU  - Hadaegh, Fred Y.
AU  - Agronin, Michael L.
PY  - 1995
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19950070324
ID  - 19950070324
ER  -