TY  - RPRT
TI  - A sub-cm micromachined electron microscope
AU  - Feinerman, A. D.
AU  - Crewe, D. A.
AU  - Perng, D. C.
AU  - Shoaf, S. E.
AU  - Crewe, A. V.
PY  - 1993
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19940025271
ID  - 19940025271
ER  -