TY  - RPRT
TI  - Plasma/Neutral-Beam Etching Apparatus
AU  - Langer, William
AU  - Cohen, Samuel
AU  - Cuthbertson, John
AU  - Manos, Dennis
AU  - Motley, Robert
PY  - 1989
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19890000261
ID  - 19890000261
ER  -