TY  - RPRT
TI  - Fluidized bed silicon deposition
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AU  - Morrison, A.
AU  - Rohatgi, N.
AU  - Lutwack, R.
AU  - Macconnell, T.
PY  - 1984
UR  - https://ntrs.nasa.gov/citations/19850053502
ID  - 19850053502
ER  -